局部净化设备：包括风淋室、自净器、洁净工作台和电子灭菌装置等。风淋室是在洁净实验室入口处单独设置一个局部洁净室，当打开风淋室的门进入到风淋室后，经过中效和高效过滤器过滤的空气气流，其速率会达到≥25m/s的高速，则进入实验室的人员和设备表面附着的尘埃微粒会被吹落净化，是洁净实验室的必备设施。其他局部净化设备要根据不同的净化要求和实验室类型酌情选择。
空气处理设备一般是由空调器（AHU）、新风机组（MAU）和循环机组（RAU）组成的一整套机组，是空调净化系统常用的空气热湿交换和空气净化处理设备。适用于具有一定规模的净化实验室，但要求其他过滤器和净化装置的整体配合，实验室洁净工程，投资相对较高。比较小型的实验室空气处理装备是采用分立式的小型设备组成，例如把冷暖空调机作为冷热源，对空气进行温度湿度的简单处理，然后配备风机过滤器单元（FFU）对空气进行洁净处理，是一种比较简易的净化方案。
洁净实验室对空调通风系统的选型用于洁净实验室的空调通风系统有两类，百级洁净实验室，一类是集中式、一类是分散式。前者适用于集群式、多房间、多要求、多功能的洁净实验室，门头沟区洁净实验室，优点是便于管理，远离噪声、降低成本。后者适用于规模较小的洁净实验室或有着单独特性要求的实验室，优点是控制精细、针对性强。
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